50159-12: Veeco Dimension 3100 Микроскоп атомно-силовой ...
0,05. СКО измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси z), мкм, не более ... Виброзащищенный стол. 1. Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм ... Руководство по эксплуатации», раздел 2 ...